Die Fehlererkennung in Zellen und Modulen bestimmt direkt die Ausbeute. Konventionelle Algorithmen beherrschen einzelne Fehlertypen gut, verallgemeinern aber schlecht auf zusammengesetzte Fehler unterschiedlicher Form und Größe. DSTEK erkennt sie automatisch in Elektrolumineszenzbildern und liefert die Automatisierung für das Be- und Entladen der Wafer gleich mit.
Umfang
Was wir prüfen
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Wafer-Wareneingang
Größe, Sägespuren, Durchbiegung, Bruch, Mikrorisse und Verschmutzung; Bruch, Überlappung und Winkel beim Einsetzen in den Korb
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Nach PECVD
Farbabweichungen der Beschichtung und Oberflächenfehler — weiße Flecken, Verschmutzung, Farbunterschiede innerhalb und zwischen Zellen, Kantenwölbung, Ätzspuren
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Siebdruck
Fingerunterbrechungen, Druckversatz, Linienbreite, Delamination des Rückseitenfelds, Pastenaustritt
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PL / EL
Verschmutzung und Saugspuren auf der Rückseitenschicht, Kratzer und weiße Flecken auf der Vorderseitenschicht, Mikrorisse nach dem Druck
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Modul-EL
Lineare und kreuzförmige Mikrorisse, schwarze Ecken, schwarze Flecken
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Wafer-Handling
Be- und Entladeautomatisierung; Bruch, Überlappung und Winkel beim Einsetzen in den Korb
Anwendungen
Typische Prüfaufgaben
Eine Auswahl dessen, was wir tatsächlich in der Linie umgesetzt haben — keine vollständige Liste. Neue Prüfobjekte gehen wir nach demselben Prinzip an.
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Prüfung von Mono-/Poly-Wafern
Größe, Sägespuren, Durchbiegung, Bruch, Mikrorisse, Verschmutzung
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Prüfung vertikaler Körbe
Bruchstücke, falsche Wafer, überlappende oder zu dicke Wafer, ungleichmäßiges Einsetzen (Höhendifferenz über 20 mm)
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Prüfung der PECVD-Beschichtung
Weiße Flecken, Verschmutzung, Farbunterschiede innerhalb der Zelle und insgesamt, Kantenwölbung, Ätzspuren
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Prüfung von SE-Elektrodenzellen
Zweidimensionale Referenzabweichung von ±15 μm
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Siebdruckprüfung
Fingerunterbrechungen, Druckversatz, Linienbreite, Delamination des Rückseitenfelds, Versatz der Rückelektrode, Pastenaustritt
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Farbsortierung von Zellen
Farbtiefe und -verteilung von kristallinem Silizium, sortiert in 8–24 Trays
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Laserschweißen der Anschlussdose
Führung des Schweißkopfs, Ebenheitsprüfung der Sammelschiene, Qualitätsprüfung nach dem Schweißen
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EL nach dem Stringer
Lineare und kreuzförmige Mikrorisse, schwarze Ecken und Flecken
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Automatisches Be- und Entladen von Wafern
Linienautomatisierung für das Be- und Entladen von Solarwafern
Prüfbilder
Was das System sieht
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Mikrorisserkennung im Zell-EL
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Erkennung schwarzer Flecken im Modul-EL
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EL monokristalliner Module
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EL polykristalliner Zellen
Unsere Stärken
Was wir in diese Branche einbringen
- 01 Deep-Learning-Modelle eigens für EL- und PL-Bilder
- 02 Präzisionsmessung bis auf eine Referenz von ±15 μm
- 03 Prüfung und Wafer-Handling als eine Linie geliefert
Weitere Branchen
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Was diese Prüfung antreibt